多温区cvd系统
发布时间: 2020-07-02 07:45:00 浏览次数:4050
![]() | 设备特点: 1.采用高纯石英或不锈钢材质炉管,耐腐蚀耐高温性能优越; 2.高纯度al2o3纤维耐火保温材料,保温效果优越,降低设备功耗; 3.炉体采用双层风冷结构工艺,自动抬升系统开启上盖; 4.nbd-101ep嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式,实时加热功率显示,非线性式样温度修正;实验报告自主生成,实验数据无限次导出。 5.一体化设备包含多路供气系统,多温区加热系统和高真空系统; | |||||||||||||||||||||||||
产品温区 | 三温区 | 四温区 | 五温区 | 六温区 | ||||||||||||||||||||||
炉管尺寸 | φ25/φ50/φ60/φ80/φ100*1600mm | |||||||||||||||||||||||||
工作温度 | ≤1150℃ | |||||||||||||||||||||||||
加热区选择 (可定制) | 200mm*3/ 200 300 200mm/ 200 400 200mm/ 300mm*3/ 300 400 300mm | 200mm*4/ 200 300 300 200mm/ 200 400 400 200mm/ 300mm*4/ 300 400 400 300mm | 200mm*5/ 300mm*5 | 200mm*6/ 300mm*6 | ||||||||||||||||||||||
升温速率 | ≤20℃/s | |||||||||||||||||||||||||
电气规格 | ac380v 6~10kw | ac380v 8~14kw | ac380v 10~15kw | ac380v 12~18kw | ||||||||||||||||||||||
气体系统(可选购) | 浮子或质子 | |||||||||||||||||||||||||
管道示意图 |
|
| ||||||||||||||||||||||||
进气接口数量 | 2、3、4(多路可选) | |||||||||||||||||||||||||
流量范围 | 20-250/20-800ml/min.....(多量程可选) 50/100/200/500sccm......(多量程可选) | |||||||||||||||||||||||||
工作压差范围 | 0-0.15mpa | |||||||||||||||||||||||||
低真空系统(可选购) | 真空泵型号 | nbd-3c/nbd-4c | ||||||||||||||||||||||||
抽气速率 | 3l/s或4l/s | |||||||||||||||||||||||||
进排气口尺寸 | kf16/25 | |||||||||||||||||||||||||
系统真空 | 3~5pa(真空泵极限真空6.2*10-2pa) | |||||||||||||||||||||||||
工作环境温度 | 5-40℃ | |||||||||||||||||||||||||
电气规格 | ac220v | |||||||||||||||||||||||||
低真空系统(可选购) | 真空泵型号 | nbd-103(a) | nbd-103(b) | |||||||||||||||||||||||
抽气速率 | 110l/s | 600l/s | ||||||||||||||||||||||||
真空测量计 | 复合真空计 | |||||||||||||||||||||||||
系统真空 | 4.310^-3pa | 6*10^-4pa | ||||||||||||||||||||||||
工作温度 | 5-40℃ | |||||||||||||||||||||||||
电气规格 | ac 220v | ac 380v | ||||||||||||||||||||||||
设备使用注意事项 | 一年有限保修,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如处理管和o形圈,请在下面的相关产品处订购更换件。) | |||||||||||||||||||||||||
galaxy银河官网的服务支持 | * 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746 | |||||||||||||||||||||||||
免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,诺巴迪公司不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。
销售热线: 0371-6320 2801
0371-6320 2805
galaxy银河官网的售后服务: 0371-6320 2805
蔡永国: 181-0371-5723
高经理: 188-3829-0747
黄经理: 188-3829-0748
email: nbd@nbdkj.com
地址:郑州·新郑·新华街道竹园8号
- {{item.cat}}
- {{item2.cat}}
-
电话:400-000-3746





